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  • 产品名称:美国MKS GV50A质量控制器

  • 产品型号:美国MKS GV50A质量控制器
  • 产品厂商:万机科仪MKS
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简单介绍:
美国MKS GV50A质量控制器
详情介绍:
MKS GV50A



MKS GV50A(带关闭阀的)通用橡胶密封数字质量流量控制器精度为设定值的± 1%,相应速度快于500毫秒,不同气体及量程间自由切换。通过一个先进的数字算法,实现了精度的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比,它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大提供了控制精度,具有更好的工艺腔室匹配性。

基于EtherNet 用户通讯口网络的游览界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除,从而减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。


例:型号GV50A013502R6V010(代表的是气体介质是氮气,流量*大是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是DeviceNet,密封材料是Viton橡胶密封)


GE50A质量流量控制器 采购系列号GE50A

用于标准的气体(SEMI Gas编号)


氮气,N2 013
氨气,NH3 029
六氟化硫,SF6 110


流量范围,SCCM满量程(相当于氮气)


5 500
10 101
20 201
50 501
100 102
200 202
500 502
1000 103
2000 203
5000 503
10000 104
20000 204
30000 304
50000 504

装配件(法兰接口)



Swagelok 4VCR male R
1/4 Swagelok S
Swagelok 4VCO male G



通讯接口


Profibus 4
RS485 5
DeviceNet 6
Analog 0 to 5 VDC(9针D型) A
Analog 0 to 5VDC (15针D型) B
Analog 4 to mA(15针D型) H

密封材料



标配:Viton V
选配:Neoprene N
选配:Buna-N B


预留MKS的未来应用



标准 0


固化软件版本


除非另有说明,MKS会安装订货日期的*新固化版本软件 10



满量程流量为3位数字显示,前两位表示量程流量的有效数字,由小数点分开;第三位表示10的指数

注:其他气体可选,完全替代MKS 2179A质量流量控制器



美国MKS GV50A质量控制器


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