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  • 产品名称:美国万机科仪MKS 910皮拉尼真空计 苏州无锡上海武汉MKS910真空计 郑州西安兰州MKS910真空计 厦门深圳重庆成都MKS910真空计 嘉兴杭州MKS

  • 产品型号:美国万机科仪MKS 910皮拉尼真空计
  • 产品厂商:万机科仪MKS
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美国万机科仪MKS 910皮拉尼真空计 苏州无锡上海武汉MKS910真空计 郑州西安兰州MKS910真空计 厦门深圳重庆成都MKS910真空计 嘉兴杭州MKS
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MKS 910

910系列真空计(DualTrans MlcroPirani优良压电传感器)

紧凑型组合的910系列传感器包含有一个直读式优良压电传感器和一个独特的MlcroPirani(微皮拉尼)传感器。传感器测量范围是从10-51500Torr。压电传感器具有温度补偿功能,在大的测量范围中具有高度的测量精度。有别于传统的皮拉尼压力计,作为910系统组合部分的MlcroPirani微皮拉尼单元制作在一个一平方毫米硅芯片上,能在很小的体积内进行压力的测量。传统Pirani压力计的测量范围10-3100Torr,而在10Torr以上其测量灵敏度就会大幅度降低。由于MlcroPirani传感器部分的尺寸很小,它能测量从常压到10-5Torr的压力。由于MlcroPirani对气体种类的敏感,910系列可以在真空系统中用来寻找中等或轻微程度的漏气。通过主电脑进行数字通讯可实现所有的对真空的调整与监测。

   910系列真空计主要参数:

  测量范围:1.0*10-5Torr1500Torr

  设定范围:5.0*10-4 Torr1500Torr

  精度:5x10-41x10-3Torr ±10%读数 1x10-310Torr ±5% 读数 101000Torr ±0.75%读数

  重复性:5x10-410-3Torr ±8% 读数 10-3Torr10Torr ±2%读数 101000Torr ±0.2%读数

  电源要求:9 to 30 VDC,<1.2W

910系列真空计订购资料(订货号如910-11034):


型号

订购序号

910双传感器复合真空压力传感器

910-

接口类型

KF16

1

KF25

2

1/8NPT

3

VCR4

4

VCR8

5

CF1.33

6

KF16扩展

8

通讯接口

RS232/模拟

1

RS485/模拟

2

模拟输出

MKS标准

0

连接头和继电器

15D-sub母头/无接触点

2

15D-sub母头/3个接触点

3

15D-sub母头/3个接触点/双模拟优良压力输出

5

密封

标准/Viton密封

0

IP54/Viton密封

2

标准/Viton密封/带显示

4




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