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  • 产品名称:835 VQM DPS Granville-Phillips 835VQM(真空质量监控仪)分压泵系统 苏州无锡上海835 VQM DPS 重庆835VQM

  • 产品型号:835 VQM DPS Granville-Phillips 835VQM真空质量监控仪分压泵系统
  • 产品厂商:菲利普 GRANEVILLE-PHILLPS
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835 VQM DPS Granville-Phillips 835VQM(真空质量监控仪)分压泵系统 苏州无锡上海835 VQM DPS 重庆835VQM
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835 VQM DPS Granville-Phillips 835VQM(真空质量监控仪)分压泵系统 苏州无锡上海835 VQM DPS  重庆835VQM



835 VQM DPS


Granville-Phillips 835VQM(真空质量监控仪)分压泵系统

Granville-Phillips的分压泵系统是获奖的高性能真空质量监控仪(VQMTM)的真空压力范围扩展产品。其具有所有VQM的优势特点,包括响应速度快和使用便捷,可用于工艺监测和工艺控制。

835分压泵系统(DPS)提供了许多实时信息,可用来优化PVD、离子注入、镀膜以及其他真空制程,从而提高产能、改善效果并节约资金。

835VQM DPS典型应用包括:

监控反应气体

确定工艺初始状态

检测污染物

控制反应气体注入量

检测泄漏

835VQM DPS产品特点:

工作压力从3Torr5x10-9Torr

85毫秒内完成质量数从1145的气体分压力测量;并可提供1300质量数范围的测量

可提供所识别的前十个*高比例的气体成分的即时信息包括趋势图

**的氢气和氦气检测(无低质量数成分测量分压超全压现象)

85毫秒内完成1145质量数全部样本数据的记录;120毫秒内完成1300质量数全部样本记录

可利用真空系统内已有气体进行单一气体校准

紧凑型结构设计,可灵活安装

835VQM DPS标准系统配置

整个835 DPS系统以下组件

835VQM分压计

390802Micro-lon全压计

带孔板的节流阀

分子泵

粗抽泵带喉管

内部连接电缆线

VQM控制器

VQM浏览软件




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