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  • 产品名称:江苏埃地沃兹真空泵代理合肥爱德华真空泵代理 郑州爱德华真空泵代理 西安爱德华真空泵代理 爱德华干泵 埃地沃兹真空泵 EPX180LE 干泵 A41943012

  • 产品型号:真空泵 EPX180LE 干泵 A41943012
  • 产品厂商:爱德华EDWARDS
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简单介绍:
江苏埃地沃兹真空泵代理合肥爱德华真空泵代理 郑州爱德华真空泵代理 西安爱德华真空泵代理 爱德华干泵 埃地沃兹真空泵 EPX180LE 干泵 A41943012 新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。 EPX180 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 EPX LE 系列的泵具有一个*终用户控制器 (EUC)。 通过*终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到各种结构的网络,以进行远程控制和监视。
详情介绍:

江苏埃地沃兹真空泵代理合肥爱德华真空泵代理 郑州爱德华真空泵代理 西安爱德华真空泵代理 爱德华干泵 埃地沃兹真空泵 EPX180LE 干泵 A41943012

製品概要

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。 EPX180 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

EPX LE 系列的泵具有一个*终用户控制器 (EUC)。 通过*终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到各种结构的网络,以进行远程控制和监视。

应用

  • EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

    EPX“LE”系列的设计旨在用于清洁工作应用泵送惰性气体混合物(如负荷锁定),通过制程机台接口提供控制。
a41943012 - EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 3/8 水接头

A41943012
a41943014 - EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 3/8 水接头

A41943014
a41943022 - EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 1/4 水接头

EPX180LE 干泵 208V 无 TIM 1/4 水接头

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a41943024 - EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 1/4 水接头

EPX180LE 干泵 400V 无 TIM 1/4 水接头

A41943024
a41943112 - EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接头

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a41943212 - EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头

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a41943222 - EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头

EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接头

A41943222
a41943224 - EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接头

EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接头

A41943224
a41943412 - EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接头

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a41943612 - EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接头

A41943612
a41943712 - EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接头

A41943712
a41943714 - EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接头

EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接头

A41943714
a41943722 - EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接头

EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接头

A41943722

功能和优势

  • 紧凑的占地面积 – 作为可用的*小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
  • 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可*大化功率效率。
  • 独特的砖利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
  • 超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
  • 非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,*大程度地延长了泵的使用寿命。
  • 可兼容的网络 - EPX 系列配有*终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。

技术数据

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限真空

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
预热时间(达到标称性能) 30 分钟
入口法兰 ISO63
出口法兰 NW25
噪音 <59 dB(A)
水接头 3/8 in 快速
*小冷却水流速 2 lmin-1
冷却水温度 15 – 35°C
电源供给 200/208 V,50/60 Hz 三相
极限功率 1.4 kW
电机额定功率 3.0 kW
TIM
重量 43.5 kg
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